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DFG fördert die Forschung an neuartiger Lithografie-Methode

Grafik: Andreas Späth

Die kontrollierte Herstellung von funktionalen Nanostrukturen ist eines der meist adressierten Themen der modernen Nanowissenschaften. Der entscheidende Schritt dabei ist stabile Nanostrukturen herzustellen, die eine definierte chemische Zusammensetzung haben. Ein neuartiger Ansatz hierfür ist die kontrollierte additive Abscheidung metallischer Nanostrukturen mittels fokussierter Röntgenstrahlen (FXBID). Die Methode wurde von einem Team des Departments Chemie und Pharmazie und der Swiss Light Source (SLS, Villigen, Schweiz) entwickelt. Sie vereint die Konzepte der elektronenstrahl-induzierten Abscheidung (EBID) und der Röntgenlithografie. Der fokussierte Strahl eines Röntgenmikroskops wird dazu verwendet, um metallorganische Ausgangsmoleküle in der Gasphase zu spalten und in einem definierten Bereich auf dem jeweiligen Substrat abzuscheiden. Ein Vorteil in der Verwendung eines Röntgenmikroskops liegt darin, dass damit die abgeschiedenen Strukturen direkt bezüglich ihrer Größe und chemischen Reinheit sowie möglicher magnetischer Eigenschaften in-situ charakterisiert werden können.

Die Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) hat Dr. Andreas Späth, PostDoc in der Gruppe von Prof. Dr. Rainer Fink, Fördergelder in Höhe von 320.000€ bewilligt, um die grundlegenden Prozesse bei der kontrollierten, röntgen-induzierten Zersetzung geeigneter metallorganischer Komplexverbindungen  zu untersuchen. In Kooperation mit Forschern der SLS und ELETTRA (Triest, Italien) und Partnern der theoretischen und physikalischen Chemie soll FXBID hinsichtlich chemischer Reinheit und minimaler Strukturgröße der Abscheidungen optimiert werden.

Kontakt:

Dr. Andreas Späth